Monocrystalline wafer front/rear determination method

WO2017038034 Art A1 9. März 2017

Anmelder: Shin-Etsu Handotai Co., Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2017038034
Aktenzeichen
EP16841074
Anmeldetag
18. August 2016
Veröffentlichung
9. März 2017
Rechtsraum
WO
IPC
G01N23/207
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Shin-Etsu Handotai Co., Ltd.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Shin-Etsu Handotai

Japanisches Unternehmen der Shin-Etsu-Gruppe, das Siliziumwafer für die Halbleiterindustrie herstellt.

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