Pipe joint, fluid control equipment, fluid control device and semiconductor manufacturing device, and pipe joint manufacturing method

WO2017038274 Art A1 9. März 2017

Anmelder: Fujikin Incorporated 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2017038274
Aktenzeichen: EP16841306
Anmeldetag: 14. Juli 2016
Veröffentlichung: 9. März 2017
Rechtsraum: WO
IPC: F16L13/02B23K9/028F16L55/00H01L21/3065B23K9/035F16L55/11

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Fujikin Incorporated
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Fujikin

Der Anmelder ist ein japanischer Hersteller von Fluidsteuerungs- und Ventiltechnik für die Halbleiterfertigung. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Maschinenelemente und Fluidtechnik sowie auf Steuerungs- und Regelungstechnik und Messtechnik. Anmeldungen laufen seit dem Jahr 2000 durchgehend fort.

452 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Maschinenelemente & Fluidtechnik Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik

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