Workpiece holding body and film forming apparatus

WO2017038466 Art A1 9. März 2017

Anmelder: ULVAC, Inc. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2017038466
Aktenzeichen: EP16841498
Anmeldetag: 17. August 2016
Veröffentlichung: 9. März 2017
Rechtsraum: WO
IPC: C23C14/50H01L21/683

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ULVAC, Inc.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 ULVAC

Japanisches Unternehmen mit Sitz in Chigasaki, spezialisiert auf Vakuumtechnik sowie Anlagen für die Halbleiter- und Displayfertigung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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