Substrate conveyance robot and substrate processing system

WO2017038811 Art A1 9. März 2017

Anmelder: Kawasaki Jukogyo Kabushiki Kaisha, Kawasaki Robotics (USA) Inc. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2017038811
Aktenzeichen: EP16841843
Anmeldetag: 30. August 2016
Veröffentlichung: 9. März 2017
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/677

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Kawasaki Jukogyo Kabushiki Kaisha
Kawasaki Robotics (USA) Inc.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Kawasaki Heavy Industries

Japanischer Schwerindustriekonzern mit Sitz in Kobe. Kawasaki fertigt Motorräder, Schienenfahrzeuge, Schiffe, Flugzeuge sowie Anlagen für Energie- und Robotertechnik.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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