Method for manufacturing fluorocarbon thin film

WO2017039339 Art A1 9. März 2017

Anmelder: Korea Research Institute of Chemical Technology 🇰🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2017039339
Aktenzeichen
EP16842305
Anmeldetag
1. September 2016
Veröffentlichung
9. März 2017
Rechtsraum
WO
IPC
C23C14/12C23C14/34C23C14/35C23C14/06C23C14/56C09D127/12D06M15/277
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Korea Research Institute of Chemical Technology
Land
🇰🇷 Südkorea
🇰🇷 Korea Research Institute of Chemical Technology

Südkoreanisches staatliches Forschungsinstitut mit Sitz in Daejeon, tätig in der Entwicklung von Chemikalien, Materialien und Verfahrenstechnik.

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