Barrier film comprising fluorocarbon thin film and method for manufacturing same
WO2017039342
Art A1
9. März 2017
Anmelder: Korea Research Institute of Chemical Technology 🇰🇷
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2017039342
- Aktenzeichen
- EP16842308
- Anmeldetag
- 1. September 2016
- Veröffentlichung
- 9. März 2017
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- C23C14/34C23C14/14C23C14/35C23C14/12C23C14/08C23C14/06G02B1/113H01L51/52H01L51/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Korea Research Institute of Chemical Technology
- Land
- 🇰🇷 Südkorea
🇰🇷
Korea Research Institute of Chemical Technology
Südkoreanisches staatliches Forschungsinstitut mit Sitz in Daejeon, tätig in der Entwicklung von Chemikalien, Materialien und Verfahrenstechnik.
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