Direct three phase parallel resonant inverter for reactive gas generator applications

WO2017040295 Art A1 9. März 2017

Anmelder: MKS Instruments, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2017040295
Aktenzeichen: EP16766130
Anmeldetag: 26. August 2016
Veröffentlichung: 9. März 2017
Rechtsraum: WO
IPC: H01J37/32H02M5/22H02M5/257H02M5/27H02M5/275H02M5/293H02M5/297

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: MKS Instruments, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 MKS Instruments

MKS Instruments ist ein US-amerikanischer Hersteller von Prozesssteuerungs- und Messinstrumenten für die Halbleiterfertigung mit Sitz in Massachusetts. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Mess- und Prüftechnik, ergänzt um Steuerungstechnik. Anmeldungen decken den Zeitraum 2000 bis 2025 ab.

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Fachgebiete

Elektrische Energietechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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