Elektromagnetischer Antrieb mit einem Stator und einem Statorhalter

WO2017042024 Art A1 16. März 2017

Anmelder: Carl Zeiss SMT GmbH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2017042024
Aktenzeichen: EP16760672
Anmeldetag: 23. August 2016
Veröffentlichung: 16. März 2017
Rechtsraum: WO
IPC: H02K41/035H01F7/17H01F7/16

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Carl Zeiss SMT GmbH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Elektrische Energietechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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