Resist Pattern Coating Composition Including Vinyl Group- Or (meth) Acryloxy Group-Containing Polysiloxane

WO2017043635 Art A1 16. März 2017

Anmelder: Nissan Chemical Industries, Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2017043635
Aktenzeichen
EP16844496
Anmeldetag
9. September 2016
Veröffentlichung
16. März 2017
Rechtsraum
WO
IPC
G03F7/40G03F7/20H01L21/027C08G77/20
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Nissan Chemical Industries, Ltd.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Nissan Chemical Corporation

Japanisches Chemieunternehmen mit Sitz in Tokio, das agrochemische Wirkstoffe, elektronische Materialien sowie Feinchemikalien für die Halbleiterindustrie herstellt. Das Unternehmen wurde 1887 gegründet und hieß bis 2015 Nissan Chemical Industries.

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