A method for three dimensional sculpturing of nanowire arrays

WO2017045185 Art A1 23. März 2017

Anmelder: Southern University of Science and Technology 🇨🇳

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2017045185
Aktenzeichen: EP15903875
Anmeldetag: 17. September 2015
Veröffentlichung: 23. März 2017
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/308H01L21/306B81C1/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Southern University of Science and Technology
Land: 🇨🇳 China

🇨🇳 Southern University of Science and Technology

Die Southern University of Science and Technology ist eine staatliche Universität in Shenzhen, China. Ihr Patentportfolio verteilt sich breit über Software, Halbleitertechnik, Messtechnik, Medizintechnik und organische Chemie und spiegelt ein multidisziplinäres Forschungsprofil wider. Die Anmeldungen stammen aus den Jahren 2015 bis 2025.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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