Verfahren zum Betreiben einer Mikrolithographischen Projektionsvorrichtung und Beleuchtungssystem Solch einer Vorrichtung

WO2017050360 Art A1 30. März 2017

Anmelder: Carl Zeiss SMT GmbH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2017050360
Aktenzeichen: EP15767480
Anmeldetag: 23. September 2015
Veröffentlichung: 30. März 2017
Rechtsraum: WO
IPC: G03F7/20G02B26/08

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma: Carl Zeiss SMT GmbH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

1.949 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Optik & Fototechnik

Vertreten von