Optische Korrekturanordnung, Projektionsobjektiv mit einer Solchen Optischen Korrekturanordnung sowie Mikrolithografische Apparatur mit einem Solchen Projektionsobjektiv

WO2017050565 Art A1 30. März 2017

Anmelder: Carl Zeiss SMT GmbH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2017050565
Aktenzeichen: EP16762780
Anmeldetag: 6. September 2016
Veröffentlichung: 30. März 2017
Rechtsraum: WO
IPC: G02B26/06G03F7/20G02B27/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Carl Zeiss SMT GmbH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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