Pressure-based flow rate control device and malfunction detection method therefor

WO2017051520 Art A1 30. März 2017

Anmelder: Fujikin Incorporated 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2017051520
Aktenzeichen: EP16848311
Anmeldetag: 15. September 2016
Veröffentlichung: 30. März 2017
Rechtsraum: WO
IPC: G05D7/06G01F1/00G01F1/36

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Fujikin Incorporated
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Fujikin

Der Anmelder ist ein japanischer Hersteller von Fluidsteuerungs- und Ventiltechnik für die Halbleiterfertigung. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Maschinenelemente und Fluidtechnik sowie auf Steuerungs- und Regelungstechnik und Messtechnik. Anmeldungen laufen seit dem Jahr 2000 durchgehend fort.

452 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Steuerungs- & Regelungstechnik

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