Data correction device, writing device, wiring pattern forming system, inspection device, data correction method, and wiring board manufacturing method

WO2017051599 Art A1 30. März 2017

Anmelder: SCREEN Holdings Co., Ltd., Hitachi Chemical Company, Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2017051599
Aktenzeichen: EP16848389
Anmeldetag: 20. Juli 2016
Veröffentlichung: 30. März 2017
Rechtsraum: WO
IPC: H05K3/06G03F7/20H01L21/66

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: SCREEN Holdings Co., Ltd.
Hitachi Chemical Company, Ltd.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 SCREEN Holdings

Japanischer Technologiekonzern. SCREEN Holdings stellt Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie her, insbesondere Wafer-Reinigungs- und Beschichtungssysteme, sowie Druck- und Bildverarbeitungstechnik.

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Fachgebiete

Elektronik & Schaltungstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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