Charged particle beam device and pattern measurement device

WO2017051621 Art A1 30. März 2017

Anmelder: Hitachi High-Technologies Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2017051621
Aktenzeichen: EP16848409
Anmeldetag: 5. August 2016
Veröffentlichung: 30. März 2017
Rechtsraum: WO
IPC: G01B15/04G01B15/00G01N23/225H01J37/22H01L21/66

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Hitachi High-Technologies Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Hitachi High-Tech Corporation

Japanisches Unternehmen der Hitachi-Gruppe, spezialisiert auf Analysegeräte, medizinische Diagnostik und Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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