Slurry composition for cmp and polishing method using same

WO2017052280 Art A1 30. März 2017

Anmelder: Young Chang Chemical Co., Ltd., SKC Co., Ltd. 🇰🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2017052280
Aktenzeichen: EP16849005
Anmeldetag: 23. September 2016
Veröffentlichung: 30. März 2017
Rechtsraum: WO
IPC: C09K3/14H01L21/304H01L21/306

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Young Chang Chemical Co., Ltd.
SKC Co., Ltd.
Land: 🇰🇷 Südkorea

🇰🇷 SKC

SKC ist ein südkoreanischer Chemie- und Materialkonzern, Teil der SK-Gruppe, mit Schwerpunkt Kunststofffolien und Halbleitermaterialien. Der Patentbestand konzentriert sich auf Kunststoff- und Polymertechnik sowie Fertigungs- und Optiktechnik.

319 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Farben, Klebstoffe & Brennstoffe Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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