Femtosecond laser-induced formation of single crystal patterned semiconductor surface

WO2017053198 Art A2 30. März 2017

Anmelder: The Regents of The University of Michigan 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2017053198
Aktenzeichen: EP16849381
Anmeldetag: 16. September 2016
Veröffentlichung: 30. März 2017
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/027H01L21/268H01L21/311

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: The Regents of The University of Michigan
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 The Regents of the University of Michigan

Leitungsgremium der University of Michigan in den USA, das als Patentanmelder für Erfindungen aus der universitären Forschung auftritt. Schwerpunkte sind Medizintechnik, Ingenieurwissenschaften und Life Sciences.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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