Multi-Beam Dark Field Imaging
WO2017053241
Art A1
30. März 2017
Anmelder: Kla-Tencor Corporation 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2017053241
- Aktenzeichen
- EP16849400
- Anmeldetag
- 19. September 2016
- Veröffentlichung
- 30. März 2017
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- G02B21/22G02B21/36G01N21/47
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Kla-Tencor Corporation
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
KLA Corporation
US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.
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