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WO2017053550 Art A1 30. März 2017

Anmelder: The University of Massachusetts 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2017053550
Aktenzeichen: EP16849581
Anmeldetag: 22. September 2016
Veröffentlichung: 30. März 2017
Rechtsraum: WO
IPC: G03F7/004G03F7/016H01L21/027B81C1/00B82Y40/00

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma: The University of Massachusetts
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 University of Massachusetts

Staatliches Universitätssystem im US-Bundesstaat Massachusetts mit mehreren Standorten, unter anderem Amherst, Boston und Worcester, aktiv in Forschung und Lehre über zahlreiche Fachrichtungen.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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