Scanning transmission electron microscope equipped with electron energy loss spectroscope and observation method therefor

WO2017056170 Art A1 6. April 2017

Anmelder: Hitachi High-Technologies Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2017056170
Aktenzeichen: EP15905325
Anmeldetag: 29. September 2015
Veröffentlichung: 6. April 2017
Rechtsraum: WO
IPC: H01J37/244H01J37/20H01J37/28

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma: Hitachi High-Technologies Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Hitachi High-Tech Corporation

Japanisches Unternehmen der Hitachi-Gruppe, spezialisiert auf Analysegeräte, medizinische Diagnostik und Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie.

3.840 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

Vertreten von