Processing fluid supply device, substrate processing system, and processing fluid supply method

WO2017056617 Art A1 6. April 2017

Anmelder: SCREEN Holdings Co., Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2017056617
Aktenzeichen: EP16850794
Anmeldetag: 5. Juli 2016
Veröffentlichung: 6. April 2017
Rechtsraum: WO
IPC: B08B3/02B05D3/00H01L21/304B05C11/10

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: SCREEN Holdings Co., Ltd.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 SCREEN Holdings

Japanischer Technologiekonzern. SCREEN Holdings stellt Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie her, insbesondere Wafer-Reinigungs- und Beschichtungssysteme, sowie Druck- und Bildverarbeitungstechnik.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Verfahrens- & Trenntechnik

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