Cmp slurry composition for polishing organic film and polishing method using same

WO2017057906 Art A1 6. April 2017

Anmelder: Samsung SDI Co., Ltd. 🇰🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2017057906
Aktenzeichen
EP16852052
Anmeldetag
29. September 2016
Veröffentlichung
6. April 2017
Rechtsraum
WO
IPC
C09K3/14C09G1/02H01L21/306
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Samsung SDI Co., Ltd.
Land
🇰🇷 Südkorea
🇰🇷 Samsung SDI

Südkoreanisches Unternehmen der Samsung-Gruppe, das Batterien und Energiespeichersysteme für Elektrofahrzeuge, Elektronikgeräte und stationäre Anwendungen entwickelt und produziert.

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