Optical Isolation Module

WO2017059314 Art A1 6. April 2017

Anmelder: ASML Netherlands B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2017059314
Aktenzeichen
EP16852753
Anmeldetag
30. September 2016
Veröffentlichung
6. April 2017
Rechtsraum
WO
IPC
G02B27/10H01S3/02H05G2/00G02B27/40G03F1/22
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
ASML Netherlands B.V.
Land
🇳🇱 Niederlande
🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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