Chucks and clamps for holding objects of a lithographic apparatus and methods for controlling a temperature of an object held by a clamp of a lithographic apparatus

WO2017060259 Art A1 13. April 2017

Anmelder: ASML Holding N.V., ASML Netherlands B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2017060259
Aktenzeichen: EP16775732
Anmeldetag: 5. Oktober 2016
Veröffentlichung: 13. April 2017
Rechtsraum: WO
IPC: G03F7/20H01L21/683

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: ASML Holding N.V.
ASML Netherlands B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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