Material supply device and vapor deposition apparatus
WO2017061481
Art A1
13. April 2017
Anmelder: ULVAC, Inc. 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2017061481
- Aktenzeichen
- EP16853635
- Anmeldetag
- 5. Oktober 2016
- Veröffentlichung
- 13. April 2017
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- C23C14/24
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- ULVAC, Inc.
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
ULVAC
Japanisches Unternehmen mit Sitz in Chigasaki, spezialisiert auf Vakuumtechnik sowie Anlagen für die Halbleiter- und Displayfertigung.
1.137 Patente in unserer Datenbank
Fachgebiete
Vertreten von
Kein Vertreter erfasst.