Mixer and vacuum processing device

WO2017061498 Art A1 13. April 2017

Anmelder: ULVAC, Inc. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2017061498
Aktenzeichen: EP16853652
Anmeldetag: 5. Oktober 2016
Veröffentlichung: 13. April 2017
Rechtsraum: WO
IPC: C23C16/455B01F3/02H01L21/31

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ULVAC, Inc.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 ULVAC

Japanisches Unternehmen mit Sitz in Chigasaki, spezialisiert auf Vakuumtechnik sowie Anlagen für die Halbleiter- und Displayfertigung.

1.137 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik Verfahrens- & Trenntechnik

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