System and method for electrodeless plasma ignition in laser-sustained plasma light source
WO2017062274
Art A1
13. April 2017
Anmelder: Kla-Tencor Corporation 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2017062274
- Aktenzeichen
- EP16854114
- Anmeldetag
- 30. September 2016
- Veröffentlichung
- 13. April 2017
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- H01J65/04
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Kla-Tencor Corporation
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
KLA Corporation
US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.
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