Cold sintering of solid precursors

WO2017062670 Art A1 13. April 2017

Anmelder: Entegris, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2017062670
Aktenzeichen: EP16854356
Anmeldetag: 6. Oktober 2016
Veröffentlichung: 13. April 2017
Rechtsraum: WO
IPC: C23C16/448C01G41/00C23C16/06C23C16/455H01L21/285

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma: Entegris, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Entegris

US-amerikanischer Hersteller von Spezialmaterialien und Filtrationslösungen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Massachusetts.

899 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Anorganische Chemie & Werkstoffe Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

Vertreten von

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