Solid-state laser system and excimer laser system

WO2017064789 Art A1 20. April 2017

Anmelder: The University Of Tokyo, Gigaphoton Inc. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2017064789
Aktenzeichen
EP15906253
Anmeldetag
15. Oktober 2015
Veröffentlichung
20. April 2017
Rechtsraum
WO
IPC
G02F1/35G02F1/37H01S3/067H01S3/30
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
The University Of Tokyo
Gigaphoton Inc.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 University of Tokyo

Japanische Universität mit Sitz in Tokio, eine der führenden Forschungsuniversitäten Asiens. Die Universität ist in nahezu allen wissenschaftlichen und technischen Disziplinen aktiv, darunter Materialwissenschaften, Elektrotechnik, Biotechnologie und Medizin.

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🇯🇵 Gigaphoton

Gigaphoton ist ein japanischer Hersteller von Excimer-Lasersystemen für die Halbleiterlithografie, ein Gemeinschaftsunternehmen unter Beteiligung von Komatsu. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Optik und Elektronik. Anmeldungen erstrecken sich von 2001 bis 2023.

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