Solid-state laser system and excimer laser system
Anmelder: The University Of Tokyo, Gigaphoton Inc. 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2017064789
- Aktenzeichen
- EP15906253
- Anmeldetag
- 15. Oktober 2015
- Veröffentlichung
- 20. April 2017
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- G02F1/35G02F1/37H01S3/067H01S3/30
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- The University Of Tokyo
Gigaphoton Inc. - Land
- 🇯🇵 Japan
Japanische Universität mit Sitz in Tokio, eine der führenden Forschungsuniversitäten Asiens. Die Universität ist in nahezu allen wissenschaftlichen und technischen Disziplinen aktiv, darunter Materialwissenschaften, Elektrotechnik, Biotechnologie und Medizin.
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Gigaphoton ist ein japanischer Hersteller von Excimer-Lasersystemen für die Halbleiterlithografie, ein Gemeinschaftsunternehmen unter Beteiligung von Komatsu. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Optik und Elektronik. Anmeldungen erstrecken sich von 2001 bis 2023.
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