Optical fiber temperature sensors, temperature monitoring apparatus, and manufacturing methods

WO2017069916 Art A1 27. April 2017

Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2017069916
Aktenzeichen: EP16857976
Anmeldetag: 23. September 2016
Veröffentlichung: 27. April 2017
Rechtsraum: WO
IPC: G01K11/32H01L21/683H01L21/02H01L21/67

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Applied Materials, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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