Micro electromechanical system (mems) energy harvester with residual stress induced instability

WO2017070187 Art A1 27. April 2017

Anmelder: Massachusetts Institute of Technology 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2017070187
Aktenzeichen: EP16791173
Anmeldetag: 19. Oktober 2016
Veröffentlichung: 27. April 2017
Rechtsraum: WO
IPC: H01L41/113H02N2/18

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Massachusetts Institute of Technology
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Massachusetts Institute of Technology

US-amerikanische Universität mit Sitz in Cambridge, Massachusetts, eine der weltweit führenden Forschungseinrichtungen. Aktiv in nahezu allen technischen und naturwissenschaftlichen Feldern, darunter Informatik, Ingenieurwesen, Materialwissenschaften und Biotechnologie.

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Fachgebiete

Elektrische Energietechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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