Apparatus for processing of a material on a substrate, cooling arrangement for a processing apparatus, and method for measuring properties of a material processed on a substrate

WO2017071748 Art A1 4. Mai 2017

Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2017071748
Aktenzeichen: EP15808114
Anmeldetag: 28. Oktober 2015
Veröffentlichung: 4. Mai 2017
Rechtsraum: WO
IPC: G01N21/84C23C14/54G01B11/06

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Applied Materials, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Metallurgie & Oberflächentechnik

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