Apparatus for treatment of a substrate for a vacuum deposition process in a vacuum processing module, system for treatment and handling of a substrate, method for treatment of a substrate for a vacuum deposition process in a vacuum processing module, and apparatus for loading a substrate carrier into a vacuum processing system
WO2017071831
Art A1
4. Mai 2017
Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2017071831
- Aktenzeichen
- EP16719402
- Anmeldetag
- 28. April 2016
- Veröffentlichung
- 4. Mai 2017
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- C23C14/04C23C16/04C23C14/02C23C14/50C23C14/56H01L21/02H01L21/67
Abstract
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Anmelder
- Firma
- Applied Materials, Inc.
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Applied Materials
US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.
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