Electron source, with photocathode illuminated off-axis

WO2017071878 Art A1 4. Mai 2017

Anmelder: ASML Netherlands B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2017071878
Aktenzeichen: EP16766960
Anmeldetag: 16. September 2016
Veröffentlichung: 4. Mai 2017
Rechtsraum: WO
IPC: G03F7/20H01J37/073H01S3/09

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ASML Netherlands B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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