Controller for an optical system

WO2017074794 Art A1 4. Mai 2017

Anmelder: Cymer, LLC 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2017074794
Aktenzeichen: EP16860541
Anmeldetag: 20. Oktober 2016
Veröffentlichung: 4. Mai 2017
Rechtsraum: WO
IPC: F16L35/00G02B21/00G02F1/35G03B27/54G03F7/20G05F1/40G06F17/10

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Cymer, LLC
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Cymer

Cymer ist ein US-amerikanisches Unternehmen für Lichtquellen zur Halbleiterlithografie, das zum ASML-Konzern gehört. Das Patentportfolio konzentriert sich sehr stark auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Optik und Fototechnik. Anmeldungen laufen kontinuierlich seit dem Jahr 2000.

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Fachgebiete

Maschinenelemente & Fluidtechnik Optik & Fototechnik Software & Datenverarbeitung Steuerungs- & Regelungstechnik

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