Magnet array, electric coil device, displacement system, lithographic apparatus and device manufacturing method

WO2017076561 Art A1 11. Mai 2017

Anmelder: ASML Netherlands B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2017076561
Aktenzeichen: EP16775717
Anmeldetag: 4. Oktober 2016
Veröffentlichung: 11. Mai 2017
Rechtsraum: WO
IPC: F16F15/03G03F7/20H02K41/03

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ASML Netherlands B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Elektrische Energietechnik Maschinenelemente & Fluidtechnik Optik & Fototechnik

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