Vacuum pump determination system and vacuum pump

WO2017077970 Art A1 11. Mai 2017

Anmelder: Edwards Japan Limited 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2017077970
Aktenzeichen: EP16862030
Anmeldetag: 31. Oktober 2016
Veröffentlichung: 11. Mai 2017
Rechtsraum: WO
IPC: F04B37/16F04B51/00

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma: Edwards Japan Limited
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Edwards Japan

Edwards Japan ist die japanische Landesgesellschaft des Vakuumpumpenherstellers Edwards, der zur Atlas-Copco-Gruppe gehört. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Energie- und Antriebstechnik sowie Maschinenelemente und Fluidtechnik, mit Bezug zur Halbleiterfertigung. Die Titel betreffen unter anderem die Erkennung von Fremdstoffablagerungen in Vakuumpumpen.

290 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Energie- & Antriebstechnik (Kraftmaschinen)

Vertreten von