Systems and methods for passive alignment of semiconductor wafers

WO2017079377 Art A1 11. Mai 2017

Anmelder: Board of Regents, The University of Texas System 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2017079377
Aktenzeichen: EP16862926
Anmeldetag: 3. November 2016
Veröffentlichung: 11. Mai 2017
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/68H01L21/683H01L21/687

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Board of Regents, The University of Texas System
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 University of Texas System

US-amerikanischer Universitätsverbund mit Sitz in Austin, Texas, bestehend aus mehreren Hochschulen und medizinischen Zentren. Der University of Texas System ist in Forschung zu Medizin, Naturwissenschaften, Ingenieurwesen und Biotechnologie aktiv.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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