Method of corner rounding and trimming of nanowires by microwave plasma

WO2017079470 Art A1 11. Mai 2017

Anmelder: Tokyo Electron Limited 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2017079470
Aktenzeichen: EP16862993
Anmeldetag: 3. November 2016
Veröffentlichung: 11. Mai 2017
Rechtsraum: WO
IPC: B82B3/00C01B33/02B01J19/08B82Y30/00B82Y40/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Tokyo Electron Limited
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Tokyo Electron

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.

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Fachgebiete

Anorganische Chemie & Werkstoffe Verfahrens- & Trenntechnik

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