Adsorbents and fluid supply packages and apparatus comprising same

WO2017079550 Art A2 11. Mai 2017

Anmelder: Entegris, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2017079550
Aktenzeichen: EP16806322
Anmeldetag: 4. November 2016
Veröffentlichung: 11. Mai 2017
Rechtsraum: WO
IPC: B01J20/20B01J20/16B01J20/22F17C1/00B01J20/10

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Entegris, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Entegris

US-amerikanischer Hersteller von Spezialmaterialien und Filtrationslösungen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Massachusetts.

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Fachgebiete

Maschinenelemente & Fluidtechnik Verfahrens- & Trenntechnik

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