Waveform mapping and gated laser voltage imaging

WO2017079665 Art A1 11. Mai 2017

Anmelder: FEI Company 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2017079665
Aktenzeichen: EP16863110
Anmeldetag: 4. November 2016
Veröffentlichung: 11. Mai 2017
Rechtsraum: WO
IPC: G01N21/88G01R31/317H01L21/66

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: FEI Company
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 FEI Company

US-amerikanischer Hersteller von Elektronenmikroskopen und wissenschaftlichen Bildgebungssystemen, seit 2016 Teil von Thermo Fisher Scientific. Patente betreffen Elektronen- und Ionenmikroskopie sowie Materialanalyse.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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