Laser gas purifying system and laser system

WO2017081819 Art A1 18. Mai 2017

Anmelder: Gigaphoton Inc. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2017081819
Aktenzeichen: EP15908336
Anmeldetag: 13. November 2015
Veröffentlichung: 18. Mai 2017
Rechtsraum: WO
IPC: H01S3/036

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma: Gigaphoton Inc.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Gigaphoton

Gigaphoton ist ein japanischer Hersteller von Excimer-Lasersystemen für die Halbleiterlithografie, ein Gemeinschaftsunternehmen unter Beteiligung von Komatsu. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Optik und Elektronik. Anmeldungen erstrecken sich von 2001 bis 2023.

539 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

Vertreten von