Metal precursor, manufacturing method therefor, and method for forming thin film by using same
WO2017082541
Art A1
18. Mai 2017
Anmelder: Korea Research Institute of Chemical Technology 🇰🇷
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2017082541
- Aktenzeichen
- EP16864467
- Anmeldetag
- 11. Oktober 2016
- Veröffentlichung
- 18. Mai 2017
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- C07F7/22C23C16/06C23C16/455H01L21/205H01L21/02C07F5/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Korea Research Institute of Chemical Technology
- Land
- 🇰🇷 Südkorea
🇰🇷
Korea Research Institute of Chemical Technology
Südkoreanisches staatliches Forschungsinstitut mit Sitz in Daejeon, tätig in der Entwicklung von Chemikalien, Materialien und Verfahrenstechnik.
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