Plasma based light source having a target material coated on a cylindrically-symmetric element

WO2017087283 Art A2 26. Mai 2017

Anmelder: KLA - Tencor Corporation 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2017087283
Aktenzeichen: EP16866897
Anmeldetag: 11. November 2016
Veröffentlichung: 26. Mai 2017
Rechtsraum: WO
IPC: G03F7/20H01L21/027H01L21/02

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: KLA - Tencor Corporation
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 KLA Corporation

US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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