Systems and methods for region-adaptive defect detection

WO2017087571 Art A1 26. Mai 2017

Anmelder: Kla-Tencor Corporation 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2017087571
Aktenzeichen: EP16867075
Anmeldetag: 16. November 2016
Veröffentlichung: 26. Mai 2017
Rechtsraum: WO
IPC: G06T7/00G01N21/88G01N21/17

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Kla-Tencor Corporation
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 KLA Corporation

US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.

1.908 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Software & Datenverarbeitung

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