Vibration isolation device, lithographic apparatus and method to tune a vibration isolation device

WO2017089085 Art A1 1. Juni 2017

Anmelder: ASML Netherlands B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2017089085
Aktenzeichen: EP16790365
Anmeldetag: 3. November 2016
Veröffentlichung: 1. Juni 2017
Rechtsraum: WO
IPC: G03F7/20F16F15/02

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ASML Netherlands B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Maschinenelemente & Fluidtechnik Optik & Fototechnik

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