Charged particle beam device, observation method using charged particle beam device, and, program

WO2017090100 Art A1 1. Juni 2017

Anmelder: Hitachi High-Technologies Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2017090100
Aktenzeichen: EP15909219
Anmeldetag: 25. November 2015
Veröffentlichung: 1. Juni 2017
Rechtsraum: WO
IPC: H01J37/24H01J37/22

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Hitachi High-Technologies Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Hitachi High-Tech Corporation

Japanisches Unternehmen der Hitachi-Gruppe, spezialisiert auf Analysegeräte, medizinische Diagnostik und Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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