Method for manufacturing silicon carbide epitaxial substrate and silicon carbide semiconductor device

WO2017090285 Art A1 1. Juni 2017

Anmelder: Sumitomo Electric Industries, Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2017090285
Aktenzeichen
EP16868235
Anmeldetag
23. August 2016
Veröffentlichung
1. Juni 2017
Rechtsraum
WO
IPC
C30B29/36C30B25/20H01L21/20H01L21/205H01L21/336H01L29/12H01L29/161H01L29/78
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Sumitomo Electric Industries, Ltd.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Sumitomo Electric Industries

Japanischer Technologiekonzern mit Sitz in Osaka, Teil der Sumitomo-Gruppe. Aktiv in Kabel- und Glasfasertechnologie, Halbleitern, Automobilkomponenten sowie Elektronik- und Werkstofftechnik.

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