Free Electron Laser

WO2017092943 Art A1 8. Juni 2017

Anmelder: ASML Netherlands B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2017092943
Aktenzeichen
EP16793795
Anmeldetag
1. November 2016
Veröffentlichung
8. Juni 2017
Rechtsraum
WO
IPC
H01S3/09H01J37/147H05H9/00G21K1/093H01J25/42H01J23/10
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
ASML Netherlands B.V.
Land
🇳🇱 Niederlande
🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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