Bestimmung des Thermischen Ausdehnungskoeffizienten als Funktion der Temperatur

WO2017093018 Art A1 8. Juni 2017

Anmelder: Carl Zeiss SMT GmbH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2017093018
Aktenzeichen: EP16801726
Anmeldetag: 16. November 2016
Veröffentlichung: 8. Juni 2017
Rechtsraum: WO
IPC: G01N25/16

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Carl Zeiss SMT GmbH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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